成果信息
序 列 号 20CG22061210150315
项目名称 一种用于激光分子束外延设备中的衬底加热器（所在地：中国 北京市 海淀区）
承担单位 沈阳共智网络科技有限公司
所属领域 机器人与智能制造 - 先进制造与自动化
转让方式 技术转让
项目基本内容 本发明涉及用于激光分子束外延设备的衬底加热器包括炉盘，在炉盘底上开有至少2个固定孔，固定孔中穿入螺钉，该螺钉在漏出底座上的一段上套有垫片或螺母，在其上放上隔热板和垫片或螺母；炉丝板2两端有通孔，和板面上开有螺旋槽，螺旋槽内缠绕炉丝；压片压放在缠绕好炉丝上面，压片两端也有通孔，
